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開啟真空泵體上的排液閥,
同時打開氮氣閥門對真空泵體內(nèi)進(jìn)行吹洗,干式真空泵機(jī)組型號,
按停止按鈕停止運行。
真空蒸鍍
在真空環(huán)境中,將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍,或叫真空鍍膜。
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