干式真空泵、丹瑞真空設(shè)備有限公司(在線咨詢)、干式真空泵

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無油干式機(jī)械真空泵的工作原理

無油干式機(jī)械真空泵（又簡稱干式機(jī)械泵）是指泵能從-壓力下開始抽氣，干式真空泵圖片，又能將被抽氣體直接排到-中去，泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì)，而且泵的-壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機(jī)械真空泵。    

目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，干式真空泵，由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)-變質(zhì)，干式真空泵廠家，使泵不能正常工作。

對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能-問題，干式真空泵型號，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。

干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微�；烊氡糜椭�，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止-造成污染，適合用干式真空泵；5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。  

爪型真空泵注意事項

爪泵在運(yùn)行中不能對-抽空，如果對-抽空會負(fù)荷增大自動停機(jī)。

泵啟動時應(yīng)關(guān)閉吸入閥并低頻率啟動，以免負(fù)荷過大。

泵清洗時應(yīng)采用低頻率運(yùn)行。

冬季停用時應(yīng)放盡泵體內(nèi)的積液。

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