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熔化的多晶硅會(huì)粘在籽晶的底端,按籽晶晶格排列的方向不斷地生長上去。因此所生長的晶體的方向性是由籽晶所決定的,st系列晶圓回收,在其被拉出和冷卻后就生長成了與籽晶內(nèi)部晶格方向相同的單晶硅棒。
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光刻工藝精細(xì)圖形(分辨率,晶圓回收,清晰度),h27系列晶圓回收,以及與其他層的圖形有多高的位置吻合精度(套刻精度)來決定,因此有-的光刻膠,還要有好的-系統(tǒng)。
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