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電池片切片:將單晶硅棒切成具有-幾何尺寸的薄硅片。此過程中產(chǎn)生的硅粉采用水淋,產(chǎn)生廢水和硅渣。電池片退火:雙工位熱氧化爐經(jīng)氮?dú)獯祾吆,用紅外加
熱至300~500℃,復(fù)拉棒回收,硅片表面和氧氣發(fā)生反應(yīng),使硅片表面形成二氧化硅保護(hù)層。電池片倒角:將退火的硅片進(jìn)行修整成圓弧形,復(fù)拉棒回收價(jià)格,防止硅片邊緣破裂及晶格缺陷
產(chǎn)生,增加磊晶層及光阻層的平坦度。此過程中產(chǎn)生的硅粉采用水淋,產(chǎn)生廢水和硅渣.
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