爪型真空泵優(yōu)勢、爪型真空泵、丹瑞真空設備有限公司

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無油干式機械真空泵的工作原理

無油干式機械真空泵（又簡稱干式機械泵）是指泵能從-壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到-中去，泵腔內無油或其他工作介質，爪型真空泵，而且泵的-壓力與油封式真空泵同等量級或者接近的機械真空泵。    

目前，真空行業(yè)使用的大多數機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質，在泵內起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術的發(fā)展以及真空應用領域的擴大，爪型真空泵優(yōu)勢，原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題：一是泵的工作介質返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產品的、數量，爪型真空泵圖片，增加設備的維護成本。其次，爪型真空泵價格，由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質-變質，使泵不能正常工作。

對于普通的無油真空系統(tǒng)來說，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流，但不能-問題，而且使系統(tǒng)顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵，則可以達到理想的使用效果。

干式機械真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微�；烊氡糜椭�，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；4）在化學工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止-造成污染，適合用干式真空泵；5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。  

返流率

泵的返流率 單位是g/cm2.s。它是指 泵按規(guī)定條件工作時，通過泵入口單位面積的泵流流率。

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