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無油干式機(jī)械真空泵的工作原理
無油干式機(jī)械真空泵(又簡(jiǎn)稱干式機(jī)械泵)是指泵能從-壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到-中去,泵腔內(nèi)無油或其他工作介質(zhì),而且泵的-壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。
目前,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,爪型真空泵維修,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)-變質(zhì),使泵不能正常工作。
對(duì)于普通的無油真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,爪型真空泵圖片,但不能-問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,爪型真空泵價(jià)格,則可以達(dá)到理想的使用-。
干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個(gè)方面:1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微;烊氡糜椭校M⒘E懦霰猛,爪型真空泵,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求;4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止-造成污染,適合用干式真空泵;5)用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。
真空泵的抽氣速率
泵的抽氣速率單位是m3/s或l/s,是指泵裝有標(biāo)準(zhǔn)試 驗(yàn)罩,并按規(guī)定條件工作時(shí),從試驗(yàn)罩
流過的氣體流量與在試驗(yàn)罩-位置測(cè)得的平衡壓強(qiáng)之比。簡(jiǎn)稱泵的抽速。
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