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無(wú)油干式機(jī)械真空泵的工作原理

無(wú)油干式機(jī)械真空泵（又簡(jiǎn)稱干式機(jī)械泵）是指泵能從-壓力下開(kāi)始抽氣，又能將被抽氣體直接排到-中去，爪型真空泵廠家，泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì)，而且泵的-壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。    

目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起-、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的、數(shù)量，爪型真空泵，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)-變質(zhì)，使泵不能正常工作。

對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來(lái)防止返流，但不能-問(wèn)題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。

干式機(jī)械真空泵的應(yīng)用是廣泛的，主要有以下幾個(gè)方面：1）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；2）半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；3）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，不希望微�；烊氡糜椭�，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿足要求；4）在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，爪型真空泵機(jī)組，要防止-造成污染，適合用干式真空泵；5）用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵，以防止油污染。  

何氏系數(shù)

泵抽氣通道面積上的實(shí)際抽速 與該處按分子瀉流計(jì)算的理論抽速 之比。

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