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操作程序編輯五:
a. 左下旋鈕“1”旋轉至指向2區(qū)段測量位置。b. 當?shù)蛪赫婵毡怼?”內(nèi)指針順時針移動到6.7pa時,低壓閥推入。c. 左下旋鈕“1”旋轉至指向1區(qū)段測量位置。d. 當?shù)蛪赫婵毡怼?”內(nèi)指針順時針移動到6.7pa時,開高壓閥。旋鈕“1”旋轉至指向2區(qū)段測量位置。e. 當?shù)蛪赫婵毡怼?”內(nèi)指針順時針移動到指向0.1pa時,開規(guī)管燈絲。f. 由?開始重復操作至? 。26. pvdf薄膜蒸鍍完鋁層后,按順序關閉規(guī)管燈絲、高壓閥、機械泵、擴散泵。把低壓閥拉出。鐘罩充氣,充氣完畢后升鐘罩。取出工件,做好鐘罩內(nèi)清理工作。
十一、 真空鍍膜設備主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,鍍鈦設備價格,包括真空離子蒸發(fā),磁控濺射,mbe分子束外延,五金鍍鈦設備,pld激光濺射沉積等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。真空鍍膜設備的操作參照該設備說明書和真空鍍膜機上各旋鈕下的標注說明以及儀表盤指針顯示。大體情況如下:
1.檢查真空鍍膜設備各操作控制開關是否在關位置。
2.打開總電源開關,福建鍍鈦設備,真空鍍膜設備送電。
3.低壓閥拉出。開充氣閥,聽不到氣流聲后,啟動升鐘罩閥,鐘罩升起。
4.安裝固定鎢螺旋加熱子。把pvdf薄膜和鋁蓋板固定在轉動圓盤上。把鋁絲穿放在螺旋加熱子內(nèi)。清理鐘罩內(nèi)各部位,-無任何雜質污物。
5.落下鐘罩。
6.啟動真空鍍膜設備抽真空機械泵。
7.開復合真空計電源(復合真空計型號:fzh-1a)。
8.當?shù)驼婵毡怼?”內(nèi)指針再次順時針移動至6.7pa時,低壓閥推入。這時左旋鈕“1”旋轉至指向1區(qū)段測量位置。
9.真空鍍膜設備開通冷卻水,不銹鋼門花鍍鈦設備,啟動擴散泵,加熱40min。
10.低壓閥拉出。重復一次動作程序:左下旋鈕“1”轉至指向2區(qū)段測量位置。低真空表“2”內(nèi)指針順時針移動,當指針移動至6.7pa時,開高壓閥(閥桿順時針旋轉)。
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