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def-6b操作
1. 總電源。2. 同時開電子槍控制ⅰ和電子槍控制ⅱ電源:按電子槍控制ⅰ電源、-開關(guān),-、電源及保護燈亮,四川離子鍍膜機,三分鐘后-及保護燈滅,若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障,保護燈會常亮。3. 開高壓,真空離子鍍膜機,高壓會達到10kv以上,調(diào)節(jié)束流可到200ma左右,簾柵為20v/100ma,燈絲電流1.2a,偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。
關(guān)機順序
1. 關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵。2. 待分子泵顯示到50時,依次關(guān)高閥、前級、機械泵,這期間約需40分鐘。3. 到50以下時,再關(guān)維持泵。
操作程序編輯五:
a. 左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。b. 當?shù)蛪赫婵毡怼?”內(nèi)指針順時針移動到6.7pa時,多功能離子鍍膜機,低壓閥推入。c. 左下旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向1區(qū)段測量位置。d. 當?shù)蛪赫婵毡怼?”內(nèi)指針順時針移動到6.7pa時,開高壓閥。旋鈕“1”旋轉(zhuǎn)至指向2區(qū)段測量位置。e. 當?shù)蛪赫婵毡怼?”內(nèi)指針順時針移動到指向0.1pa時,開規(guī)管燈絲。f. 由?開始重復操作至? 。26. pvdf薄膜蒸鍍完鋁層后,按順序關(guān)閉規(guī)管燈絲、高壓閥、機械泵、擴散泵。把低壓閥拉出。鐘罩充氣,充氣完畢后升鐘罩。取出工件,做好鐘罩內(nèi)清理工作。
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