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美國(guó)memc公司采用流化床技術(shù)實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn),其以naalh4 與sif4 為原料制備-,反應(yīng)式如下:sif4+naalh4=sih4+naalf4。-經(jīng)純化后在流化床式分解爐中進(jìn)行分解,反應(yīng)溫度為730℃左右,制得尺寸為1000微米的粒狀多晶硅。該法能耗低,粒狀多晶硅生產(chǎn)分解電耗為12kw·h/kg左右,約為改良西門子法的1/10,且一次轉(zhuǎn)化率-98%,但是產(chǎn)物中存在大量微米尺度內(nèi)的粉塵,且粒狀多晶硅表面積大,易被污染,產(chǎn)品含氫量高,須進(jìn)行脫氫處理。
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