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西門子法是由德國(guó)siemens公司發(fā)明并于1954年申請(qǐng)了-1965年左右實(shí)現(xiàn)了工業(yè)化。經(jīng)過幾十年的應(yīng)用和展 邊皮單晶硅回收,西門子法不斷完善,先后出現(xiàn)了-代、第二代和第三代,第三代多晶硅生產(chǎn)工藝即改良西門子法,它在第二代的基礎(chǔ)上增加了還原尾氣干法回收系統(tǒng)、sicl4回收氫化工藝,實(shí)現(xiàn)了完全閉環(huán)生產(chǎn),是西門子法生產(chǎn)高純多晶硅技術(shù)的-技術(shù),其具體工藝流程如圖1所示。硅在西門子法多晶硅生產(chǎn)流程內(nèi)部的循環(huán)利用。
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-熱分解法與西門子法相比,其優(yōu)點(diǎn)主要在于:-較易提純,含硅量較高(87.5%,分解速度快,分解率-99%),分解溫度較低,生成的多晶硅的能耗僅為40 kw ·h/kg,且產(chǎn)品純度高。但是缺點(diǎn)也-:-不但制造成本較高,而且易燃、易爆、安全性差,國(guó)外曾發(fā)生過-工廠--的事故。
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