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多晶硅的生產技術主要為改良西門子法和-法。西門子法通過氣相沉積的方式生產柱狀多晶硅,為了提高原料利用率和環(huán)境友好,在前者的基礎上采用了閉環(huán)式生產工藝即改良西門子法。該工藝將工業(yè)硅粉與hcl反應,加工成sihcl3 ,再讓sihcl3在h2氣氛的還原爐中還原沉積得到多晶硅。
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-法是用mg2si與nh4cl在液氨中反應生成-。該法由于原料消耗量大,成本高,危險性大,而沒有推廣,現在只有日本komatsu使用此法,F代-的制備采用歧化法,即以冶金級硅與sicl4為原料合成-,首先用sicl4、si和h2反應生成sihcl3 ,然后sihcl3 歧化反應生成sih2cl2,-由sih2cl2 進行催化歧化反應生成sih4 ,
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