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這些泵一般稱為初級(jí)泵,通常抽速為幾個(gè)m3/hr至50m3/hr。它們工作壓力范圍從大約0.01至1000mbar,并且可直排-。渦輪分子泵是二級(jí)泵,與初級(jí)泵結(jié)合使用。這種情況下,初級(jí)泵充當(dāng)前級(jí)泵或粗抽泵。渦輪分子泵在分子流態(tài)下運(yùn)轉(zhuǎn),并可得到-的-真空,通常為10-8到10-10mbar。然而,在典型的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用中 真空泵,它們的工作壓力范圍一般為10-2 到10-8mbar,并且抽速范圍從50到500l/s。變形也是真空泵零件常見(jiàn)的一種失效模式.由于泵浦在高速運(yùn)行時(shí)會(huì)產(chǎn)生一定的高溫。諸如殼體、板件等常處于受熱狀態(tài) 水環(huán)式真空泵,‘易發(fā)生.逐步產(chǎn)生的塑性變形 水環(huán)真空泵,不能恢復(fù)零部件原有的幾何尺寸與形狀,-時(shí)將造成設(shè)備故障。如密封圈,油封等。真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產(chǎn)生、-和維持真空的裝置。真空泵可以定義為:利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展,真空泵的種類已發(fā)展了很多種 真空泵維修,其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。
當(dāng)評(píng)估真空泵時(shí),關(guān)鍵考慮事項(xiàng)應(yīng)當(dāng)包括真空性能(速度、壓縮比、功率)、環(huán)境影響、維護(hù)周期和對(duì)油的要求(若有)。本文概述了各種抽空技術(shù),并為科學(xué)家提供了選擇適合其應(yīng)用的真空泵的指南。腐蝕是真空泵零件失效的又一種模式。常見(jiàn)于工藝較為復(fù)雜的pcb,化工等工況下運(yùn)行的真空泵中。由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍,只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要,有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái),以機(jī)組型式應(yīng)用。這指的是泵的標(biāo)稱抽速,或更重要的是,在標(biāo)稱工藝壓力下的目標(biāo)工藝氣體的抽氣量。然而,如前所述,像質(zhì)譜分析等一些應(yīng)用,要求更高的真空度,在這種情況下,通常使用渦輪分子泵加前級(jí)泵的泵組。經(jīng)測(cè)量,根據(jù)零部件的損壞、磨損程度的不同,可對(duì)機(jī)械真空泵的腔體、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋板等零部件進(jìn)行鏟刮研磨和修配,相互修正調(diào)整。
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