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產(chǎn)品介紹
HRM300L
產(chǎn)品特點(diǎn):
半導(dǎo)體檢查顯微鏡200MM/300MM晶圓FPD檢查顯微鏡
同-顯微鏡中-光學(xué)性能 HSZ660立體顯微鏡, -變倍比6.7
? 觀察筒傾角45度/60度可選(HSZ645/660), 三目觀察筒(HSZ645TR)
? 結(jié)構(gòu)緊湊, 輕巧
? 豐富的輔助物鏡擴(kuò)展了倍率范圍
? 大型載物臺(tái)搭載: 可用于400×300MM液晶基板, 300MM晶圓全面檢查
? 采用高NA的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
? 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
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掃描隧道顯微鏡(SCANNING TUNNELING MICROSCOPE HSZ600立體顯微鏡,縮寫(xiě)為STM),亦稱為掃描穿隧式顯微鏡,是一種利用-理論中的隧道效應(yīng)探測(cè)物質(zhì)表面結(jié)構(gòu)的儀器。它于1981年由格爾德·賓寧及海因里!ち_雷爾在IBM位于瑞士蘇黎世的蘇黎世實(shí)驗(yàn)室發(fā)明 顯微鏡,兩位-因此與恩斯特·魯斯卡分享了1986年諾貝爾物理學(xué)獎(jiǎng)。它作為一種掃描探針顯微術(shù)工具 HRM300L半導(dǎo)體顯微鏡,掃描隧道顯微鏡可以讓科學(xué)家觀察和定位單個(gè)原子,它具有比它的同類原子力顯微鏡高的分辨率。此外掃描隧道顯微鏡在低溫下(4K)可以利用探針-原子,因此它在納米科技既是重要的測(cè)量工具又是加工工具。
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