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掃描隧道顯微鏡（scanning tunneling microscope hds5800超景深顯微鏡，縮寫為stm）顯微鏡，亦稱為掃描穿隧式顯微鏡，是一種利用-理論中的隧道效應(yīng)探測物質(zhì)表面結(jié)構(gòu)的儀器。它于1981年由格爾德·賓寧及海因里希·羅雷爾在ibm位于瑞士蘇黎世的蘇黎世實驗室發(fā)明，兩位-因此與恩斯特·魯斯卡分享了1986年諾貝爾物理學(xué)獎。它作為一種掃描探針顯微術(shù)工具，掃描隧道顯微鏡可以讓科學(xué)家觀察和定位單個原子，它具有比它的同類原子力顯微鏡高的分辨率。此外掃描隧道顯微鏡在低溫下（4k）可以利用探針---原子，因此它在納米科技既是重要的測量工具又是加工工具。

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