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復(fù)合式分子泵的分類:復(fù)合式分子泵的形式很多 分子泵維修,按結(jié)構(gòu)分,主要有兩種:一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯(lián)組合;另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯(lián)組合。渦輪級(jí)主要用來(lái)提高泵的抽速,一般采用有利于提高抽速的葉片形狀,級(jí)數(shù)在 l0 級(jí)以內(nèi)。牽引級(jí)主要用來(lái)增加泵的壓縮比,提高泵的出口壓力。盤式牽引級(jí)是在平板圓盤平面上按一定規(guī)律開出數(shù)條型線溝槽,然后將數(shù)塊圓盤串接起來(lái)構(gòu)成,型線有阿基米德螺線、對(duì)數(shù)螺線、圓弧線等。抽氣時(shí)靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的圓盤對(duì)氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”,使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向流動(dòng),從而達(dá)到抽氣目的。筒式牽引級(jí)是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽,如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上,因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞,提高泵的抽氣效果。在設(shè)計(jì)制造中,可以通過(guò)改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來(lái)達(dá)到較理想的抽氣效果。
分子增壓泵壓縮級(jí)的動(dòng)輪與吸氣級(jí)完全一樣,也是平圓盤 分子泵維修廠家,而靜輪卻有區(qū)別,如 圖16。壓縮級(jí)的靜輪是在較厚的圓盤上兩邊開上螺旋槽 愛(ài)德華分子泵維修,兩邊的螺旋槽方向根據(jù)需要可以相同也可以相反 安捷倫分子泵維修,這樣每側(cè)的螺旋槽與相鄰的動(dòng)輪也構(gòu)成了螺旋抽氣通道,只不過(guò)此時(shí)抽氣通道四個(gè)壁面,三個(gè)是靜止的,僅一個(gè)是運(yùn)動(dòng)的,經(jīng)吸氣級(jí)壓縮過(guò)的氣體在壓縮級(jí)已不需太高的抽動(dòng)系數(shù)。如壓縮級(jí)靜輪的螺旋方向與吸氣級(jí)靜輪螺旋方向相反,則可把吸氣級(jí)壓縮至軸心處的氣體繼續(xù)壓縮至外圓一側(cè),如壓縮級(jí)靜輪兩側(cè)的螺旋方向相反,則經(jīng)一側(cè)壓縮至軸心(或外圓),另一側(cè)將繼續(xù)把氣體分子壓縮至外圓(軸心)。即一個(gè)靜輪與動(dòng)輪配合能連續(xù)完成兩次壓縮,分子增壓泵-的壓縮比,便是這些壓縮過(guò)程疊加作用的結(jié)果。由于分子之間的碰撞可以傳遞動(dòng)量,所以分子增壓泵的拖動(dòng)作用可以延伸到過(guò)渡流。
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