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分子泵維修注意事項 1、應(yīng)經(jīng)常檢查各導(dǎo)線及接地線是否短路,其絕緣層是否破損漏電。 2、真空腔體內(nèi)應(yīng)保持清潔,經(jīng)常清除雜物。 3、裝入爐底料盤中的工件應(yīng)符合要求,不能過高過大,以免爐絲受熱變形與工件接觸造成短路現(xiàn)象。 4、設(shè)備運行時要注意保養(yǎng) 磁懸浮渦輪分子泵維修工廠,定期對冷卻水系統(tǒng)進(jìn)行維護(hù) 渦輪分子泵維修,以防止水垢的大量凝結(jié) 渦輪分子泵維修供應(yīng)商,影響冷卻效果。 5、工作場地應(yīng)保持衛(wèi)生整潔,以免塵土污染真空室。
通過以上的討論可以知道,渦輪分子泵的葉列必須向運動方向傾斜,方可形成兩側(cè)氣體分子通過葉列的傳輸幾率的差異,從而產(chǎn)生抽氣作用。至于葉列運動的速度大小關(guān)乎兩邊傳輸幾率差異大小,由于這一速度是與分子熱運動的平均速度共同決定了傳輸幾率的大小,所以它必須達(dá)到分子熱運動的平均速度的量級。上述的結(jié)果基本是根據(jù)圖示以及生活經(jīng)驗直觀地理解而得到的。實際上這一結(jié)論可以嚴(yán)格地按照分子運動論的基本理論給出,為了能更深入地了解渦輪分子泵的抽氣原理,下面作進(jìn)一步討論。 首先必須了解氣體分子碰撞到壁面上反射時所遵循的規(guī)律。氣體分子碰撞到一般的表面上反射時,與剛性球在剛性表面上遵從鏡面反射規(guī)律完全不同。它的反射方向是一帶有概率特征的隨機事件,即它向空間2π立體角范圍內(nèi)任何一個方向都有反射的可能 渦輪分子泵維修,而其可能性(即概率大。┳駨乃^的克努曾余弦定律。如圖11所示,ab為入射方向,bc為某一可能的反射方向,?d為該可能反射方向附近的 一小立體角元,即包括了一個小小的方向間隔.
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