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半導體生產(chǎn)廢水回用
半導體生產(chǎn)廢水主要來自車間的鍍槽、清洗水等 廢水處理,廢水中含有的主要污染物有:ag、cu、ni、cod、ss、cn、酸堿等。半導體生產(chǎn)廢水排放量大,廢水污染物種類多,成份復雜,尤其是溶解固體和懸浮固體在含量、酸堿度和金屬雜質(zhì)方面的差異,使半導體廢水回用對常規(guī)技術(shù)處理造成了挑戰(zhàn)。
一、廢水處理系統(tǒng):半導體廠廢水之來源,可略分為制程廢水,純水系統(tǒng)之廢水,廢氣洗滌中和液廢水等三種。
1.制程廢水:
直接排放-h(huán)f濃廢液,hf洗滌廢水,酸/堿性廢水,晶圓研磨廢水等五種,經(jīng)各分類管線排至廢水廠。回收處理經(jīng)排放收集委外處理或直接再利用。
2.純水系統(tǒng)之廢水:
直接排放-純水系統(tǒng)再生時之洗滌藥劑混合水(含-再生/洗滌液及堿洗滌液)回收處理-系統(tǒng)濃縮液(逆滲透膜組,超限外濾膜組)或是堿性再生廢液。
3.廢氣洗滌廢水
直接排放-洗滌制程所排放的廢氣之水,均直接排放至處理廠。
lcd生產(chǎn)廢水處理
在lcd液晶顯示器生產(chǎn)過程中,有玻璃基片涂膠前清洗、顯影、酸刻、脫膜等多道水洗工序都需要大量用水,由于該種清洗廢水具有污染物成分單一、濃度低的特點 造紙廢水處理,如直接排放到廢水處理站處理后排放,不但需要投加大量化學藥劑進行處理才能達到排放標準,而且會造成水資源的-浪費。
本公司研發(fā)的lcd廢水回收系統(tǒng)采用先回收再處理設(shè)計理念,可以為電子工業(yè)的印刷電路板和芯片生產(chǎn)中的污水處理提供-的解決方案 焦化廢水,在實現(xiàn)廢水回收利用,減少排放的同時可-減少廢水處理站建設(shè)投資成本和運行成本。
★工藝特點:
1、-的抗污染能力
在本系統(tǒng)進行l(wèi)cd廢水處理回用過程中,改性ro膜濾裝置是該系統(tǒng)的-部分,-。經(jīng)改性ro膜分離回收裝置處理后出水能去除絕大部分無機鹽、有機物、微生物及-等,可達到<城市污水再生利用工業(yè)用水水質(zhì)>要求。
2、節(jié)省成本
由于改性膜分離回收系統(tǒng)出水水質(zhì)可達到工業(yè)用自來水標準,電導率150us/cm左右,因此lcd生產(chǎn)企業(yè)每天所使用自來水將減少60%以上 工業(yè)廢水處理,大幅度減少自來水水費及原化水系統(tǒng)運行費用,同時可節(jié)約60%以上廢水排污費用,由此減少大量廢水處理站建設(shè)投資成本和運行成本。
3、減輕污染
本系統(tǒng)不僅能有效地節(jié)約水資源,而且能減少污水的排放,減輕對周圍水體的污染,-人類居住環(huán)境。
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