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8寸藍(lán)膜_8寸藍(lán)膜晶圓_磅礴電子

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    2015-1-27

楊先生
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要形成較厚sio2膜,需要較長(zhǎng)的氧化時(shí)間。sio2膜形成的速度取決于經(jīng)擴(kuò)散穿過(guò)sio2膜到達(dá)硅表面的o2及oh基等氧化劑的數(shù)量的多少。濕法氧化時(shí),因在于oh基sio2膜中的擴(kuò)散系數(shù)比o2的大。氧化反應(yīng),si 表面向深層移動(dòng),距離為sio2膜厚的0.44倍。


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