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為了滿足市場對于-成本和更高生產(chǎn)力的要求，新一代線鋸必須提升切割速度，使用更長的硅塊從而提高切割荷載。

更細的切割線和更薄的硅片都提升了生產(chǎn)力，同時，-的工藝控制可以管理切割線拉力以此保持切割線的牢固性。

使用-一組切割切割線是在保持速度的前提下提高機臺產(chǎn)量的一個-方法。應用材料公司-的maxedge 系統(tǒng)采用了-的兩組獨立控制的切割組件。

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放射示蹤原子分析和質(zhì)譜分析表明，采用雙氧水體系清洗硅片效果-，同時所用的全部化學試劑 h2o2、nh4oh、hcl能夠完全揮發(fā)掉。

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