國產(chǎn)顯微鏡|思貝舒|sz45-st1國產(chǎn)顯微鏡

mx61/mx61l

產(chǎn)品特點(diǎn):

半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓fpd檢查顯微鏡

? 大型載物臺(tái)搭載: 可用于400×300mm液晶基板， 300mm晶圓全面檢查(mx61l)

? 采用高na的透射光聚光鏡 國產(chǎn)顯微鏡， 圖像更銳利

? 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應(yīng)用要求

? 透射和反射照明可同時(shí)使用， -提高液晶基板觀察效果

mx61/mx61l詳細(xì)規(guī)格:

型號(hào)

mx61型顯微鏡

mx61l型顯微鏡

光學(xué)系統(tǒng)

uis2光學(xué)系統(tǒng)（-遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)）

顯微鏡鏡體

射光照明（f.n. 26.5）

12v100w鹵素?zé)襞荩�預(yù)定心型） 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)反射鏡可外加1個(gè)分光鏡組（選配） ，轉(zhuǎn)換使用

內(nèi)置電動(dòng)孔徑光闌（每個(gè)物鏡可預(yù)設(shè)，物鏡轉(zhuǎn)換時(shí)自動(dòng)轉(zhuǎn)換，暗視場(chǎng)觀測(cè)時(shí)自動(dòng)打開）

透射光照明*(f.n. 26.5)

進(jìn)行透射光照明時(shí)要配合使用mx-tilla或mx-tillb。

采用lg-ps2型光源和lg-sf型光源附件（12v100w鹵素?zé)簦┗蛲�等光源進(jìn)行照射。

mx-tilla：聚光鏡（n.a. 0.5），帶孔徑光闌

mx-tillb：聚光鏡（n.a. 0.6），帶孔徑和視場(chǎng)光闌

觀測(cè)方法

反射光明視場(chǎng)法；反射光暗視場(chǎng)法；反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法；反射光簡(jiǎn)單偏振法；反射光熒光法；反射光照明法（ir）透射光明視場(chǎng)法；透射光簡(jiǎn)單偏振法//需要專門的分光鏡組。/需要與透射光照明部件配合使用。