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太陽能電池具體的制作工藝說明
(1) 切片:采用多線切割 硅塊回收,將硅棒切割成正方形的硅片。
(2) 清洗:用常規(guī)的硅片清洗方法清洗,然后用酸(或堿)溶液將硅片表面切割損傷層除去30-50um。
(3) 制備絨面:用堿溶液對硅片進(jìn)行各向-腐蝕在硅片表面制備絨面。
(4) 磷擴(kuò)散:采用涂布源(或液態(tài)源,或固態(tài)氮化磷片狀源)進(jìn)行擴(kuò)散,制成pn+結(jié),結(jié)深一般為0.3-0.5um。
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