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huvitz半導(dǎo)體檢測顯微鏡
產(chǎn)品介紹
hrm300l
產(chǎn)品特點:
半導(dǎo)體檢查顯微鏡200mm/300mm晶圓fpd檢查顯微鏡
? 大型載物臺搭載: 可用于400×300mm液晶基板, 300mm晶圓全面檢查
? 采用高na的透射光聚光鏡, 圖像更銳利
? 多種觀察方式 多種照明方式 多種附件以滿足不同應(yīng)用要求
hrm300l透反射半導(dǎo)體檢測顯微鏡
hrm300l-m反射光半導(dǎo)體檢測顯微鏡
-標(biāo)本高度
29.5mm
反射光照明裝置
明視場等觀察法
100w鹵素?zé)?可安裝高亮度光源、光纖照明裝置)。可用于明視野法微分干涉襯比法/簡易偏振光法 hrm300金相顯微鏡,配備視場光闌和孔徑光闌(可調(diào)中)以及明視野法聯(lián)動的中性密度濾色鏡。
產(chǎn)品特點:
? 常規(guī)研究系統(tǒng)金相顯微鏡
? 透射/反射和反射-兩種鏡體可選 hrm300l半導(dǎo)體顯微鏡,12v100w光源
光學(xué)系統(tǒng)
-遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)
照明方式
反射/透射
反射
基本單元
調(diào)焦
行程范圍:29.5毫米,
粗調(diào):17.7毫米/轉(zhuǎn),微調(diào):0.1毫米/轉(zhuǎn)(1 um刻度)
電子指示
?
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