硅片烘箱,硅片烘箱原理,互幫干燥

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　烘箱是利用電熱絲隔層加熱使物體干燥的設(shè)備。它適用于比室溫高5~300℃（有的高200℃）范圍的烘培、干燥、熱處理等 硅片烘箱工藝，靈敏度通常為±1℃。烘箱的型號(hào)很多，但基本結(jié)構(gòu)相似，一般由箱體、電熱系統(tǒng)和自動(dòng)控溫系統(tǒng)三部分組成。
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