濟(jì)南創(chuàng)譜儀器有限公司提供探針臺(tái)手動(dòng)測試晶圓憶阻器失效分析iv測試光電流測試mapping架。產(chǎn)品信息:
在實(shí)際得科研生產(chǎn)中,由于樣品/晶圓(Wafer)得尺寸越來越大,用于測試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴,我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧,功能實(shí)用,成本較低的簡易式探針臺(tái),在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上,去除了不需要得部件,該探針臺(tái)系統(tǒng)包含:光學(xué)成像部分,隔振平臺(tái),探針座,四維調(diào)整載片臺(tái)(Chuck),真空吸附系統(tǒng);
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái),以達(dá)到較好得使用效果。
技術(shù)參數(shù):
◆模塊化設(shè)計(jì),可以搭建不同構(gòu)件完成不同測試
◆探針臺(tái)位移分辨率3μm,樣品XYZR四維調(diào)節(jié)
◆兼容多種光學(xué)顯微鏡,可以引入光路,完成光電mapping測試
◆兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡,可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降
◆漏電流精度:10pA/100fa(屏蔽箱內(nèi))
◆探針采用交叉滾珠導(dǎo)軌,線性移動(dòng),無回程差設(shè)計(jì)
◆1微米以上電極/PAD使用
◆加寬探針架,可以放置6個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座
◆全系列搭配顯微鏡XY精密移動(dòng)功能,可以選配多種位移行程以及驅(qū)動(dòng)形式
◆多被用于科研院校搭建測試系統(tǒng),例:材料電學(xué)測試系統(tǒng)、光電探測器光電響應(yīng)系統(tǒng)、光電Mapping測試系統(tǒng)、憶阻器與神經(jīng)元系統(tǒng)等等
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