探針臺(tái)手動(dòng)測試晶圓憶阻器失效分析iv測試光電流測試mapping架

濟(jì)南創(chuàng)譜儀器有限公司提供探針臺(tái)手動(dòng)測試晶圓憶阻器失效分析iv測試光電流測試mapping架。產(chǎn)品信息：
在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試的探針臺(tái)相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)的這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低的簡易式探針臺(tái)，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了不需要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)，探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；
創(chuàng)譜儀器可以根據(jù)客戶應(yīng)用搭建探針臺(tái)，以達(dá)到較好得使用效果。
技術(shù)參數(shù)：
◆模塊化設(shè)計(jì)，可以搭建不同構(gòu)件完成不同測試
◆探針臺(tái)位移分辨率3μm，樣品XYZR四維調(diào)節(jié)
◆兼容多種光學(xué)顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測試
◆兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降
◆漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）
◆探針采用交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動(dòng)，無回程差設(shè)計(jì)
◆1微米以上電極/PAD使用
◆加寬探針架，可以放置6個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座
◆全系列搭配顯微鏡XY精密移動(dòng)功能，可以選配多種位移行程以及驅(qū)動(dòng)形式
◆多被用于科研院校搭建測試系統(tǒng)，例：材料電學(xué)測試系統(tǒng)、光電探測器光電響應(yīng)系統(tǒng)、光電Mapping測試系統(tǒng)、憶阻器與神經(jīng)元系統(tǒng)等等
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