sps光刻機

濟南新力特試驗設(shè)備有限公司提供sps光刻機。sps光刻機主要特點：
1、寫入分辨率低至2 μm
2、可調(diào)整的寫作領(lǐng)域和具有可互換目標(biāo)的解決方案
3、與cad文件或位圖圖像兼容
4、與g線光刻膠兼容
5、兼容多種基材（硅，玻璃，金屬，塑料等）
6、兼容任何樣品尺寸達4英寸的晶片
7、相機反饋以進行對準(zhǔn)步驟
8、由于沒有硬掩模，節(jié)省了時間和金錢
9、將設(shè)計直接覆蓋在樣品上的直觀對齊方法
10、占地面積小的桌面
11、非常適合微電子，2d材料，微流體，光電，opty或任何其他2d微加工應(yīng)用的技術(shù)
sps光刻機技術(shù)參數(shù)
1、光源-：435 nm； 對準(zhǔn)：525 nm
2、小特征尺寸：2至23 μm可調(diào)
3、對準(zhǔn)分辨率：低至1 μm / cm2
4、--面積：75 x75 mm2
5、基板尺寸：-4”晶圓
6、系統(tǒng)尺寸：w：（36厘米）； d：（36厘米）; 高：（60厘米）
7、多合一pc：win 10、24英寸全高清
8、sftprint軟件：機器控制，步進重復(fù)，自動劑量測試，縫合，對齊
9、sftconverter：將標(biāo)準(zhǔn)格式（gdsii，dxf，cif，oas）轉(zhuǎn)換為位圖圖像。 隨附的cad軟件
sps光刻機http://www.gaiascience.cn/sonlist-2209170.html
https://www.chem17.com/st471196/erlist_2209170.html
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