蘇州尚純流體設(shè)備有限公司提供rca清洗機-蘇州尚純。全自動rca清洗機
適用產(chǎn)業(yè):半導體等
控制模式:手動控制模式、自動控制模式
項目 數(shù)據(jù)
基本規(guī)格 機臺封面:瓷白pp板材(厚度***10mm)or china sus板材(厚度***2mm)
機臺主體強度結(jié)構(gòu):整體骨架表面噴涂處理or china sus 矩形材
機臺視窗:透明、抗靜電透明pvc(厚度***5mm)or china 鋼化玻璃(厚度***2mm)
選配模塊 腐蝕液恒溫系統(tǒng)
腐蝕液循環(huán)過濾系統(tǒng)
超(兆聲)系統(tǒng)
全自動供液系統(tǒng)
更全面的全自動烘干系統(tǒng)
消防系統(tǒng)
可結(jié)合通訊-資料存儲、cim系統(tǒng)、資料分析存儲建立管理
機臺特點 刻蝕工藝自動補藥液-了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性
qdr沖洗模塊非常見排序式,可根據(jù)制程工藝設(shè)定
集成自動干燥系統(tǒng)
管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機及絲杠導軌等關(guān)鍵-部件均采用進口標準產(chǎn)品
保修便利,非庫存品工廠內(nèi)均建立安全庫存品
全程自動化控制,幾何曲線加減速運動,沖擊小運行平穩(wěn),機械臂定位精度高
多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫,可供用戶使用和存儲
作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動及被動保護相結(jié)合,-操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全
客制化設(shè)計能力佳,搞設(shè)計能力滿足客戶制程工藝需要
機械臂裝置 robot的工藝路徑種類 n種(設(shè)備出廠前載入plc內(nèi))
機械手傳送定位精度 ≤0.3mm
機械臂走向 右進做出或左進右出
制程控制 plc控制方式
操作界面 全圖形化中文彩色人機界面(10.4彩屏)
槽體數(shù)量 根據(jù)制程要求選擇定制
設(shè)備制造 蘇州尚純半導體設(shè)備有限公司
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