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逆流-質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)如圖5所示。該類儀器是根據(jù)油擴(kuò)散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如,多級(jí)油擴(kuò)散泵對(duì)-氣的壓縮比為102;對(duì)空氣中其它成分的壓縮比為lo4~106。檢漏時(shí),通過(guò)被檢件上漏孔進(jìn)入主抽泵前級(jí)部位的-氣,壓縮機(jī)-檢漏系統(tǒng)生產(chǎn)廠家,仍有部分返流到質(zhì)譜室中去,并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號(hào)。這就是逆流-頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理。
-質(zhì)譜檢漏方法比較多,根據(jù)被檢件的測(cè)量目的可以分為兩種類型,一種是漏點(diǎn)型,另一種是漏率型;在實(shí)際檢驗(yàn)過(guò)程中要根據(jù)檢驗(yàn)的目的選用合理的方法,要以被檢器件的具體情況而定,靈活運(yùn)用各種檢漏方法。
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-質(zhì)譜檢漏儀的噪聲主要來(lái)源于電路噪聲和本底噪聲,目前設(shè)備電子線路和電子元件的改進(jìn),使得電路噪聲已經(jīng)降得很低,因此-質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設(shè)備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的,主要形成的原因包括:
一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。
二、真空油脂、橡膠材料、有機(jī)絕緣材料都可吸附和再釋放出-氣,而電離規(guī),高壓開關(guān)-檢漏系統(tǒng)生產(chǎn)廠家,-是磁放電真空規(guī)對(duì)-有記憶效應(yīng),其表面污染時(shí)就更為-。
三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和-的反擴(kuò)散。
四、檢漏儀中空氣的本底影響。
五、殘余氣體分子對(duì)離子的散射作用。
六、燈絲和其他電極受機(jī)械振動(dòng)引起的效應(yīng)。
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