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硅的各向-腐蝕液通常用熱的堿性溶液。大多使用廉價的濃度約為1%的稀溶液來制備絨面硅，腐蝕溫度為70-85℃。為了獲得均勻的絨面，還應在溶液中酌量添加醇類如-和等作為絡合劑，以加快硅的腐蝕。制備

絨面前，硅片須-行初步表面腐蝕，用堿性或酸性腐蝕液蝕去約20～25μm，在腐蝕絨面后，進行一般的化學清洗。經(jīng)過表面準備的硅片都不宜在水中久存，

以防沾污，應盡快擴散制結。

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