隨著科技的迅猛發(fā)展,-質(zhì)譜檢儀及其應(yīng)用技術(shù)也在不斷發(fā)展和究善。各國的設(shè)備廠商相繼推出了多種類烈的-質(zhì)譜檢涮儀,廣泛應(yīng)用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業(yè),綜觀較新-質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn),-質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等-方向發(fā)展,這些特點-地滿足了當(dāng)前檢漏應(yīng)用的需求,也-的推動了氮質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展。-質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)-質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,汽車高壓油軌真空箱-測漏設(shè)備,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源,分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并-成束,以一定能量注入質(zhì)分析器,
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實現(xiàn)分離。
離子檢測器的作用是手機分析器所選定的-離子流并加以放大,再通過比對運算,得出泄漏率
真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過程所需的真空,同時完成被檢件的抽空和-氣的引入。真空系統(tǒng)一般由分子泵、機械泵、電磁閥和真空計組成組成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu),檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的-質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通,由被檢件泄入的氮氣首先到達質(zhì)譜管被檢到,因而具有較高的靈敏度,但是會對質(zhì)譜管有污染。逆擴散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比,被檢件只與低真空相通,因此只需將被檢工件抽至低真空就能進行檢漏,-氣是逆擴散到質(zhì)譜管,不會對系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場的主流的產(chǎn)品。
機械泵的工作方式不一樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀,油泵工作會有油霧排出,污染工作環(huán)境,干泵沒有油霧排出對工作環(huán)境沒有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。
檢漏儀的響應(yīng)時間會影響檢漏工作的速度,正常運行的儀器響應(yīng)時間不大于3s。筆者實測時,在漏點處噴射-氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應(yīng),對于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應(yīng)是相當(dāng)?shù)撵`敏。
檢漏時噴在漏孔處停留的時間應(yīng)為儀器響應(yīng)時間的3倍,-測漏設(shè)備,該時間再加上-氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴-的較小間隔時間,當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大,冷柜內(nèi)膽-測漏設(shè)備,該間隔時間也越長。筆者根據(jù)實測經(jīng)驗,兩次噴-的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴-后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應(yīng),則可進行第二次噴-。
清除時間在理論上與響應(yīng)時間相同,但由于儀器零件對-的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。筆者-,在測試到數(shù)量級為10-9p a ?m3/s的微漏漏點時,清除時間約須1分鐘;在測試到數(shù)量級為10-8p a ? m3/s的中漏漏點時,清除時間約須2分鐘;在測試到數(shù)量級為10-7pa?m3/s的大漏漏點時,清除時間在3分鐘左右。
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光無源器件是不含光能源的光能器件的總稱。光無源器件在光路中都要消耗能量,插入損耗是其主要性能指標(biāo)。光無源器件有光纖連接器、光開關(guān)、光衰減器、光纖耦合器、波分復(fù)用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們在光路中分別實現(xiàn)連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號調(diào)制、濾波等功能。本文主要介紹-質(zhì)譜檢漏儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用。
光無源器件是不含光能源的光功能器件的總稱。光無源器件在光路中都要消耗能量,插入損耗是其主要性能指標(biāo)。光無源器件有光纖連接器、光開關(guān)、光衰減器、光纖耦合器、波分復(fù)用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。它們在光路中分別實現(xiàn)連接、能量衰減、反向隔離、分路或合路、信號調(diào)制、濾波等功能。本文主要介紹-質(zhì)譜檢漏儀在無源器件中的檢漏應(yīng)用。
無源器件檢漏原因:光無源器件是光纖通信設(shè)備的重要組成部分,也是其它光纖應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的元器件。具有高回波損耗、低插入損耗、高-性等特點。光無源器件對密封性的要求-,如果存在泄漏會影響其使用性能和精度,光通信行業(yè)的漏率標(biāo)準(zhǔn)是小于 5×10-8 mbar.l/s,因此需要進行泄漏檢測。-質(zhì)譜檢漏法利用-氣作為示蹤氣體可準(zhǔn)確定位,定量漏點,替代傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏,目前已廣泛應(yīng)用于光無源器件的檢漏。
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