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一、手套箱不斷抽真空
1. 過渡艙艙門未關(guān)嚴(yán);
2. 腳踏是否被東西壓;
3. 電磁閥塊上<凈化柱抽氣閥>;是否被雜質(zhì)卡;
4. 電磁閥塊上<箱體抽氣閥>;是否被雜質(zhì)卡住。
二、手套箱用氣量增大
1. 在從工作氣氣源到設(shè)備的管路有泄漏,氣源處鋼瓶口漏氣、閥塊上進(jìn)氣管接口漏氣;
2. 高真空擋板閥氣體泄漏;
3. 高真空擋板閥的壓力管出現(xiàn)漏氣,依次檢查。
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1、水氧含量大于200ppm
原因:新箱調(diào)試或誤操作。
辦法:停止循環(huán),開啟清洗,清洗至100ppm以下,開啟循環(huán)。
2、屏幕顯示 主閥壓力不足0.4mpa或主閥信號故障
原因:氣源壓力不足。
辦法:換氣瓶,增大壓力至0.4-0.5mpar。
3、屏幕顯示“pump switch off”
原因:真空泵阻力過大,造成跳閘。
辦法:維修真空泵后,打開電柜,合上跳閘開關(guān)。
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1、清洗時箱壓持續(xù)增加
原因:清洗閥門沒有打開、進(jìn)氣壓力太大、管路不暢通造成。
辦法:-管路暢通,不要折彎;清洗時,箱內(nèi)相對壓力持續(xù)低于0.5毫巴。
2、凈化柱主閥故障
原因:工作氣壓力不足0.5mpa;主閥信號反饋故障。
辦法:更換工作氣瓶,或檢查減壓閥副表壓力在0.5mpa;檢查主閥信號開關(guān)。
3、循環(huán)不能開啟
原因:風(fēng)機變頻器低壓或高壓保護。
辦法:待電壓穩(wěn)定后,關(guān)機隔1分鐘后重啟。
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