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經(jīng)過近半個世紀的努力，今天的-質(zhì)譜檢漏儀已告別了四十年代初期的情形。
集中體現(xiàn)在如下幾個方面：
（1）便攜式：近各國推出的小型便攜式檢漏儀不僅靈敏度高，而且便于攜帶，給野外作業(yè)和高空作業(yè)提供了比較大的方便。
（2）高壓強下檢漏：檢漏口壓強可-數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。
（3）自動化程度高：自動校準-峰，自動調(diào)節(jié)零點，量程自動轉(zhuǎn)換，自動數(shù)據(jù)處理，可外接打印機。整機由微機控制，菜單的選擇功能，冷柜內(nèi)膽真空箱-檢漏設(shè)備，一個按鈕即可完成一次的全檢漏過程。
（4）全無油的干式檢漏：有些生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。
（5）檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，范圍很寬，不僅可檢測-氣，壓縮機真空箱-檢漏設(shè)備，而且能檢測其它氣體。
分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。為適應(yīng)檢漏口壓強的變化和對靈敏度要求的不同，分子泵一般采用多級構(gòu)造和幾種不同的轉(zhuǎn)速。
例如：瑞士、日本采用改變分子泵轉(zhuǎn)-達到此目的，且提高檢漏靈敏度。
另外，逆擴散檢漏方式，實現(xiàn)了高壓強下檢漏，也為正壓吸檢漏提供了-的條件。
-質(zhì)譜檢漏法是利用-質(zhì)譜檢漏儀的-分壓力測量原理，實現(xiàn)被檢件的-泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體-氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進入-質(zhì)譜檢漏儀后，由于-質(zhì)譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的-氣分壓力信號值。在獲得-氣信號值的基礎(chǔ)上，通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對-泄漏量。
根據(jù)檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關(guān)系不同，可以將-質(zhì)譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，-檢漏設(shè)備，下面分別總結(jié)了這四種-質(zhì)譜檢漏法的檢測原理、優(yōu)缺點及檢測的標準。
真空法-質(zhì)譜檢漏
采用真空法檢漏時，需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產(chǎn)品內(nèi)部密封室抽真空，采用-罩或噴吹的方法在被檢產(chǎn)品外表面施-氣，當被檢產(chǎn)品表面有漏孔時，-氣就會通過漏孔進入被檢產(chǎn)品內(nèi)部，再進入-質(zhì)譜檢漏儀，從而實現(xiàn)被檢產(chǎn)品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同，又可以將真空法分為真空噴吹法和真空-罩法。其中真空噴吹法采用噴的方式向被檢產(chǎn)品外表面噴吹-氣，可以實現(xiàn)漏孔的準確定位; 真空-罩法采用有一定密閉功能的-罩將被檢產(chǎn)品全部罩起來，在罩內(nèi)充滿一定濃度的-氣，冰箱.冷柜內(nèi)膽真空箱-檢漏設(shè)備，可以實現(xiàn)被檢產(chǎn)品總漏率的測量。
適當?shù)木S護您的檢漏儀是非常-的，具體步驟如下：
1、探頭清潔：利用附送的防護罩防止灰塵、水汽和油脂阻塞探頭，在使用本儀器前，均要檢查探頭和防護罩確無灰塵或油脂。
2、拉下防護罩；
3、用工業(yè)毛巾或壓縮空氣清潔防護罩；
4、如果探頭本身也臟，可浸入像酒精等溫和清洗劑幾秒鐘，然后用壓縮空氣或工業(yè)毛巾清潔，嚴禁用像礦物油等溶劑，這樣易降低儀器靈敏度。
5、探頭更換：探頭終總要失效，需更換。由于探頭壽命直接和使用條件和頻次相關(guān)，因此較難預(yù)計準確的更換時間。當在清潔、純凈空氣中報警或不穩(wěn)定時，應(yīng)更換探頭，具體探頭步驟是如下：
（1）確認本儀器處于關(guān)閉狀態(tài)
（2）逆時針旋下舊探頭
（3）順時針旋上包裝箱中提供的備用探頭。
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