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凈化工程——無塵車間
所謂的無塵車間是一個人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境,隨著集成電路技術(shù)的快速成長,也增加了對制造環(huán)境(無塵車間)潔靜度的需求,在工業(yè)上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻礙產(chǎn)品的運作或降低其壽命。 由于奈米技術(shù)的興起,造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷的增加,塵粒更容易使芯片失效或-度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒地落到金屬導(dǎo)線時,瓦楞夾芯板,就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上,可能將其腐蝕,所以無塵車間為集成電路制造不可或缺的要素。
凈化工程風(fēng)量、換氣次數(shù)、靜壓差
在潔凈室體積確定的情況下,換氣次數(shù)由該室的送風(fēng)量決定,而靜壓差取決于房間的送風(fēng)量與回風(fēng)量、排風(fēng)量的差值。系統(tǒng)總送風(fēng)量、新風(fēng)量、總排風(fēng)量和對外壓差可以通過調(diào)整風(fēng)機(jī)頻率轉(zhuǎn)速或總閥門開啟度來實現(xiàn),各房間的風(fēng)量和壓力則可通過調(diào)整分支管路閥門開度來實現(xiàn)。
實際檢測過程中發(fā)現(xiàn),不銹鋼夾芯板,在通過調(diào)節(jié)支管風(fēng)閥對某間換氣次數(shù)不合格潔凈室進(jìn)行送風(fēng)量調(diào)節(jié)時,往往會使同一潔凈區(qū)其余的潔凈室送風(fēng)量改變,即打亂了整個潔凈區(qū)的風(fēng)量分配,連云港夾芯板,從而使問題變得更為復(fù)雜。另外還常遇到換氣次數(shù)合格而壓差不合格,這種情形在二更常見。主要原因在于護(hù)圍結(jié)構(gòu)氣密性較差和回風(fēng)口柵格不易調(diào)節(jié)。
凈化工程——潔凈室
潔凈室噪聲標(biāo)準(zhǔn)一般均嚴(yán)于保護(hù)健康的標(biāo)準(zhǔn),目的在于保障操作正常進(jìn)行,滿足-的談話聯(lián)系及安全舒適的工作環(huán)境。因此衡量潔凈室的噪聲主要指標(biāo)是:
1.煩惱的效應(yīng)
由于噪聲,鋁蜂窩夾芯板,使人感到不安寧而產(chǎn)生煩惱情緒,一般分為極安靜、很安靜、較安靜、稍嫌吵鬧,比較吵鬧和極吵鬧7個煩惱等級。凡反應(yīng)水平屬于很吵鬧和極吵鬧者,即為高煩惱,高煩惱人數(shù)在總?cè)藬?shù)中的百分比即為高煩惱率。
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