廈門太星機(jī)電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和銷售及維修-團(tuán)隊組成,公司提供國外及國內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵,檢漏儀,分子泵,擴(kuò)散泵,水環(huán)真空泵,螺桿真空泵,真空爐擴(kuò)散泵保養(yǎng),羅茨泵,真空測量,真空泵油及其備品備件。
通常擴(kuò)散泵的性能是以-真空、大反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?/p>
1.-真空
如果對一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn),如減少油蒸氣的返流,加分鎦裝置,合理分配加熱功率,真空鍍膜機(jī)擴(kuò)散泵保養(yǎng),改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計,加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等,就能使擴(kuò)散泵性能--,-真空可達(dá)到-的壓強(qiáng)。油擴(kuò)散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6pa,起始壓力正好是機(jī)械泵的-壓力,因此,油擴(kuò)散泵通常要利用機(jī)械泵作為前級泵,將真空度抽到10^-1pa后才能開始工作。
2.大反壓強(qiáng)
大反壓強(qiáng)是指擴(kuò)散泵所允許的前置壓-值。如果前級泵所產(chǎn)生的壓強(qiáng)高于大反壓強(qiáng),則擴(kuò)散泵就不能正常工作。
3.抽氣速率
擴(kuò)散泵的抽速可根據(jù)氣體分子運(yùn)動理論來推算出來。
4.設(shè)置冷阱及低溫?fù)醢宓脑?/p>
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擴(kuò)散泵中的油在加熱到沸騰溫度(約為200度)后產(chǎn)生大量的油蒸氣,油蒸氣經(jīng)導(dǎo)流管從各級噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng),被抽氣體的分子便不斷擴(kuò)散到高速定向蒸氣流中,隨著蒸氣流帶走。氣體分子隨蒸氣流碰到泵壁又反射回來,真空擴(kuò)散泵保養(yǎng),再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后,氣體分子被壓縮到低真空端,再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)行多級壓縮,由前級泵抽走,而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱,如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。
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現(xiàn)代的油擴(kuò)散泵在泵入口處,泵油的返流已降至大約室溫下泵油蒸發(fā)速率的水平。
只有在使用時遵守一定的操作規(guī)程,才能-系統(tǒng)的正常工作。前已詳細(xì)敘述過有關(guān)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵的操作規(guī)程。經(jīng)人們生產(chǎn)實(shí)踐,對排氣系統(tǒng),也同樣總結(jié)出來一套操作規(guī)程。以高真空排氣系統(tǒng)為例(其他真空設(shè)備可仿照施行),擴(kuò)散泵保養(yǎng),其操作規(guī)程如下:檢查真空系統(tǒng)各部分,熟悉系統(tǒng)的氣路結(jié)構(gòu),了解真空系統(tǒng)各元件的作用以及操作部分的電路聯(lián)接。關(guān)閉放氣閥門,啟動機(jī)械泵,對系統(tǒng)進(jìn)行抽氣,并-用火花檢漏器對系統(tǒng)各部分進(jìn)行檢漏。如系全金屬系統(tǒng),則可關(guān)閉閥門,用真空計讀數(shù)記下p-t曲線(作靜態(tài)升壓試驗(yàn))。如壓強(qiáng)-間呈-,可斷定系統(tǒng)有漏氣源,應(yīng)進(jìn)行檢漏。當(dāng)系統(tǒng)真空度達(dá)到油擴(kuò)散泵的前置壓強(qiáng)(5×10-2托)后,啟動擴(kuò)散泵,使加熱電流逐漸升到額定(佳)值。在啟動擴(kuò)散泵前,必須先開冷卻水。擴(kuò)散泵正常工作后,用火花檢漏器(或熱偶計)判斷量測系統(tǒng)的真空度。到10-3托以上(熱偶計近滿偏或95格以上)才能使用電離真空計。使用時先對規(guī)管除氣,后測量真空度。
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