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多片式比較片裝置的設(shè)計(jì)特點(diǎn)
1)固定筒圓筒形狀、大直徑、厚壁結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)和周向?qū)ΨQ的固定方式,可-其有足夠的強(qiáng)度和剛度,同時(shí),還可阻止高溫濺射磨料對(duì)其內(nèi)部零部件污染,-撥動(dòng)盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的靈活性。
2)圓形軸承座的設(shè)計(jì),-軸承座安裝的密封性和垂直度;增大軸的直徑尺寸,加大軸承座中兩軸承的安裝間距,提高其自身的強(qiáng)度和剛度,-轉(zhuǎn)動(dòng)過(guò)程中軸1的剛度和撥動(dòng)盤(pán)的旋轉(zhuǎn)靈活性、位置重復(fù)的一致性。
3)裝載換位機(jī)構(gòu),通過(guò)擴(kuò)大支承盤(pán)的直徑,使該機(jī)構(gòu)在平面方向的有效面積增大,可安裝直徑大(φ26.5mm)的比較片,有利于光路調(diào)整,提高光學(xué)薄膜;比較片由單片玻璃作為一個(gè)比較片單元,比較片采用空間立體疊加安裝方式,多片玻璃疊加安裝在一個(gè)比較片存儲(chǔ)筒內(nèi),實(shí)現(xiàn)一次可放置50~100片比較片,解決鍍膜機(jī)鍍制多層精密光學(xué)薄膜,比較片數(shù)量少影響鍍膜層數(shù)和精度的問(wèn)題。
4)定位盤(pán)與槽型光藕的配合,通過(guò)槽型光藕來(lái)感知定位盤(pán)上三個(gè)均分的120°狹縫,控制電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)停止。軸1旋轉(zhuǎn)定位重復(fù)的一致性得到-,帶動(dòng)撥動(dòng)盤(pán)完成準(zhǔn)確的撥片動(dòng)作。
5)轉(zhuǎn)動(dòng)密封饋入機(jī)構(gòu)引入威爾遜密封機(jī)構(gòu),既-電機(jī)通過(guò)齒輪嚙合帶動(dòng)軸的靈活轉(zhuǎn)動(dòng),又-真空室對(duì)外部的密封作用。優(yōu)化設(shè)計(jì)的真空鍍膜機(jī)多片式比較片裝置,其特點(diǎn):(1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,強(qiáng)度高,-性好;(2)比較片裝載數(shù)量大,生產(chǎn)效率提高,可鍍制-層精密光學(xué)薄膜;(3)比較片直徑增大,提高薄膜監(jiān)控的精度,降低對(duì)硬件系統(tǒng)的要求,系統(tǒng)容易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制;
真空鍍膜設(shè)備如何選配真空泵部件
一、在選真空泵時(shí),首先要注意真空泵在工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝和環(huán)境是不是存在著影響,如果工藝過(guò)程受到影響,應(yīng)該采取防振措施或者另選真空泵。在選擇的時(shí)候需要了解待抽氣體的成分,如果需要選擇性的抽氣,一種泵可能不-滿足要求,必須組合多種不同的泵互相配合工作,如果真空鍍膜設(shè)備鍍膜要求無(wú)油則要選用無(wú)油泵。
二、真空泵的價(jià)格和維修費(fèi)用也是我們考慮的重點(diǎn)之一。
三、真空鍍膜設(shè)備對(duì)于真空度的-要求和工作壓力強(qiáng)度要求越來(lái)越大,對(duì)真空泵的抽真空能力要求就越高,起碼泵的-抽真空度要高于真空設(shè)備工作真空度的半個(gè)數(shù)量級(jí)以上。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,譬如像擴(kuò)散泵的壓強(qiáng)為3~10-7mmhg,其穩(wěn)定工作壓強(qiáng)范圍為5*10-4~5*10-6mmhg,那么使用擴(kuò)散泵就不能讓其在未定工作壓強(qiáng)范圍之外工作。
四、當(dāng)泵需要的氣體壓力不高或所需的真空度不高的時(shí)候,可優(yōu)先在單級(jí)泵中進(jìn)行選擇,度過(guò)排氣壓力或真空度的要求比較高,單擊泵往往不可以滿足要求,可以選擇使用兩級(jí)泵或者多級(jí)泵。
真空卷繞鍍膜機(jī)鍍層之間的結(jié)合力
真空卷繞鍍膜機(jī)鍍層之間的結(jié)合力主要與以下因素有關(guān):
1、真空鍍膜設(shè)備底鍍層的種類(lèi)與性質(zhì)。一般認(rèn)為,銅層與多種金屬都具有好的結(jié)合力。含鐵量-30%左右的高鐵鎳鐵合金,在酸銅液中也會(huì)產(chǎn)生置換銅層,故不能用于光亮酸銅打底。
2、真空鍍膜機(jī)底鍍層的光亮性。真空鍍膜鍍層越是光亮,與其他鍍層的附著力可能越差。
3、真空鍍膜設(shè)備底鍍層表面的清潔性。典型的是鍍-鹽光亮酸銅后,往往形成有機(jī)膜鈍化層,應(yīng)作脫膜處理。不要輕信聲稱鍍后無(wú)需除膜的酸銅光亮劑的宣傳,而在工藝流程設(shè)計(jì)時(shí)不考慮除膜工序。
因?yàn)榧词剐屡湟簳r(shí)可以不脫膜,隨著亮銅液中有機(jī)雜質(zhì)的積累或加入的光亮劑比例失調(diào)時(shí),也會(huì)產(chǎn)生憎水的有機(jī)膜層。眾所周知,-幾乎是所有酸銅光亮劑中不可缺少的組分,而鍍層中-的夾附量越大,越容易生成憎水膜層。
4、真空鍍膜機(jī)底鍍層的鈍化性。越易鈍化的鍍層,其上鍍層的結(jié)合力越差。鎳是易鈍化金屬,鍍鎳過(guò)程中斷電對(duì)間稍長(zhǎng),鎳鍍層在鍍鎳液中會(huì)發(fā)生化學(xué)鈍化;
若未能有效避免雙性電極現(xiàn)象(詳見(jiàn)第四講);則作為陽(yáng)極部分的工件局部更會(huì)發(fā)生-的電化學(xué)鈍化,在鍍多縣鎳時(shí)-應(yīng)注意。鉻比鎳更易鈍化,所以鉻上鍍鉻必須有-的活化。
鉻上鍍鉻的情況也不少,如:裝飾性套鉻一次深鍍能力差時(shí)作二次套鉻;為-抗蝕性與耐磨性,在乳白鉻(基本無(wú)裂紋)上鍍硬鉻;鉬及鉬合金電鍍要求用鍍鉻打底等。
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