羅茨泵的工作原理及其結構特點
羅茨泵是一種雙轉子的容積式真空泵。在泵腔內有兩個形狀對稱的轉子,轉子形狀有兩葉、三葉和四葉的。兩個轉子彼此朝相反方向旋轉,由軸端齒輪驅動同步轉動。轉子彼此無接觸,轉子與泵腔壁也無接觸,其間通常有0.15~1.0mm的間隙,泵腔靠間隙來密封。
由于羅茨泵泵腔內無摩擦,轉子可高速運轉,一般為1500~3000r/min,而且不-潤滑油,可實現(xiàn)無油清潔的抽氣過程。泵的潤滑部位僅
結構特點(1)泵總體結構型式真空泵的泵體的布置結構決定了泵的總體結構。立式結構的進、排氣口水平設置,愛德華真空泵加工,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重
氣體捕集泵這種泵是一種是氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上,從而減小了容器內的氣體分子數(shù)目而達到抽氣目的的真空泵,有以下幾種型式。吸附泵:它主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質)的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵吸氣劑泵:它是一種利用吸氣劑以化學結合方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。升華泵即屬于這種形式。吸氣劑離子泵:它是使被電離的氣體通過電磁場或電場的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達到抽氣的目的。它有如下幾種型式。
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