-氣是一種無色、無味的隋性氣體。相對分子為4.003,分子直徑為2.18×10-10m,分子的為3.65×10-27kg,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的密度為0.1769kg/m3,臨界溫度為5.25k,臨界壓力為2.26×105pa,1atm壓力下的沸點(diǎn)為4.214k,熔點(diǎn)為0.9k,三相點(diǎn)溫度為2.186k,三相點(diǎn)壓力為51.1×10-2pa,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的熱導(dǎo)率為510.79j/(m·h·k),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的定壓比熱為5233j/(kg·k),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的動力粘度系數(shù)為1.86×10-5pa·s,1l液-氣化為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的-氣體積為700l。
-規(guī)定的瓶裝-氣按純度高低分別為工業(yè)用-、純-、高純-三種。
1、工業(yè)用-:-含量***99%,露1點(diǎn)≤43℃.
2、純-分-:優(yōu)等品-含量***99.995%;一等品-含量***99.993%;合格品-含量***99.99%。
3、高純-分為-:優(yōu)等品-含量***99.9996%;一等品-含量***99.9993%;合格品-含量***99.999%。
-氣在-質(zhì)譜檢漏儀檢漏中作為示蹤氣體使用,純度要求不高,一般選用工業(yè)用-,即-含量***99%,露1點(diǎn)≤43℃。
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檢漏儀的響應(yīng)時間會影響檢漏工作的速度,正常運(yùn)行的儀器響應(yīng)時間不大于3s。筆者實(shí)測時,在漏點(diǎn)處噴射-氣5~10s后,檢漏儀就發(fā)生響應(yīng),對于如此龐大的真空系統(tǒng),其反應(yīng)是相當(dāng)?shù)撵`敏。
檢漏時噴槍在漏孔處停留的時間應(yīng)為儀器響應(yīng)時間的3倍,該時間再加上-氣在真空系統(tǒng)中的傳遞時間,即為兩次噴-的較小間隔時間,當(dāng)然真空系統(tǒng)越龐大,該間隔時間也越長。筆者根據(jù)實(shí)測經(jīng)驗(yàn),兩次噴-的較小間隔時間控制在30s左右,即如果次噴-后30s內(nèi)檢漏儀還沒有反應(yīng),則可進(jìn)行-次噴-。
清除時間在理論上與響應(yīng)時間相同,但由于儀器零件對-的吸附和脫附作用的影響,清除時間一般要更長些。筆者-,在測試到數(shù)量級為10-9p a ?m3/s的微漏漏點(diǎn)時,清除時間約須1分鐘;在測試到數(shù)量級為10-8p a ? m3/s的中漏漏點(diǎn)時,清除時間約須2分鐘;在測試到數(shù)量級為10-7pa?m3/s的大漏漏點(diǎn)時,清除時間在3分鐘左右。
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-質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術(shù)性能指標(biāo),通過實(shí)驗(yàn),總結(jié)通過-質(zhì)譜檢漏儀對其漏率校準(zhǔn)的方法。
-質(zhì)譜檢漏儀原理:
-質(zhì)譜檢漏儀是一種以-氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不
-質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。
-質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔,鑄鋁件真空箱-檢漏設(shè)備,可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進(jìn)行校準(zhǔn),如果不能單獨(dú)校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔,就可考慮直接通過-質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行漏率部分的校準(zhǔn),本文主要討論這種情況下-漏率的校準(zhǔn)方法。
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