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parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似,而且所制備parylene涂層介電常數(shù)也低,派瑞林設(shè)備,還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖,進(jìn)行再金屬化,因此parylene不僅可用作防護(hù)材料,而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用,經(jīng)parylene涂敷過的集成電路芯片,其25um細(xì)直徑連接線,派瑞林,連接強(qiáng)度可提高5-10倍。
parylene不僅電性能,防護(hù)性能好,而且生物相溶性也好,它已通過美國fda論證,滿足美國藥典生物材料vi類標(biāo)準(zhǔn),被列為是一種可以在體內(nèi)長期植入使用的生物材料。傳感器和換能器:自動化控制和-環(huán)境下使用的傳感器、換能器, parylene涂層防護(hù)可以提高環(huán)境適應(yīng)性和-性,涂層無,派瑞林技術(shù),且具有防潮功能。各種傳感器傳感部件及彎曲管。適用于各種-環(huán)境。
在傳感器領(lǐng)域,由于很薄的parylene 薄膜涂層就能對器件提供有效防護(hù),對傳感器的靈敏度影響很小。國外已有四千萬種以上各種傳感器用parylene 防護(hù),其中有汽車傳感器、腐蝕環(huán)境用傳感器、生物醫(yī)學(xué)用傳感器等。
parylene是-的聚對二材料系列的統(tǒng)稱,屬于一種具有完全線形、高度結(jié)晶的高聚物。n型parylene是對二的高聚物,派瑞林絕緣涂層,在各類parylene中具有強(qiáng)的滲透能力,能夠有效地在各種細(xì)縫或盲孔表面形成薄膜。它的介電常數(shù)極低(2.65)及耗散因子小,且隨外界頻率的增加變化不大;同時具有的潤滑效果,主要用于橡膠、光學(xué)領(lǐng)域。
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