派瑞林-菱威納米-絕緣涂層派瑞林鍍膜

　 在微電子領(lǐng)域，近些年parylene應(yīng)用發(fā)展較快，派瑞林納米鍍膜oem，真空氣相沉積制備的parylene不僅可制精細尺寸的涂層，絕緣涂層派瑞林鍍膜，而且該涂層可用微電子的加工工藝進行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外，在微米以下-規(guī)模集成電路制作中，派瑞林，還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料，-是氟代parylene，更被國外集成電路研究者所-，用作多層集成-規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。　　　　parylene氣相沉積涂敷工藝涂敷時，在工作上有很強的滲透性，能滲透到smt貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細孔中，真正形成完全敷形，均勻一致的防護涂層。parylene氣相沉積涂敷工藝沒有溶劑、助劑，即使在0.1微米厚也沒有，氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜，沒有通常涂層的固化過程和固化引起的收縮應(yīng)力，對工件能進行表面加固，但不會引起傷害，也沒有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

parylene是一類特殊的熱塑性聚合物家族的總稱，它們在真空條件下稀薄的氣體中形成并附著在表面。這些線性聚合物每單位厚度都有的屏蔽性能，具有的化學惰性及無性。parylene薄膜無色透明。液體涂層的平均厚度幾乎為parylene的額定厚度的10倍左右。　　parylene在密閉的沉積過程中從粉末狀原材料轉(zhuǎn)化為氣體，當它沉積在基材上時就形成了高分子膜。parylene在大約0.1托的真空室內(nèi)形成。這時氣體分子的平均自由程只有0.1厘米。因而沉積不會是直線型的，待涂敷封裝物體的所有部分都會受到聚合氣體不規(guī)則的撞擊。