鍍膜設(shè)備
以下是制備的-條件:
在沉積溫度下,反應(yīng)物具有足夠的蒸氣壓,并能以適當(dāng)?shù)乃俣缺灰敕磻?yīng)室;
反應(yīng)產(chǎn)物除了形成固態(tài)薄膜物質(zhì)外,都必須是揮發(fā)性的;
沉積薄膜和基體材料必須具有足夠低的蒸氣壓。
cvd技術(shù)是作為涂層的手段而開發(fā)的,但不只應(yīng)用于耐熱物質(zhì)的涂·層,鍍膜設(shè)備,而且應(yīng)用于高純度金屬的精制、粉末合成、半導(dǎo)體薄膜等,是一個(gè)頗具特征的技術(shù)領(lǐng)域,其工藝成本具體而定。
(1)化學(xué)氣相沉積(cvd)反應(yīng)溫度一般在900~1200℃,手機(jī)鍍膜設(shè)備,中溫cvd例如mocvd(金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積),玻璃鍍膜設(shè)備,反應(yīng)溫度在500~800℃。若通過氣相反應(yīng)的能量,還可把反應(yīng)溫度降低。
“輔助”cvd的工藝較多,主要有:
電子輔助cvd(eacvd)(也稱為電子束輔助cvd,電子增強(qiáng)cvd,塑膠鍍膜設(shè)備,或電子束-cvd),涂層的形成在電子作用下得到改進(jìn)。
激光輔助cvd(lacvd),也稱為激光cvd或光子輔助cvd,涂層的形成在激光輻照作用下得到改進(jìn)。
熱絲cvd,也稱為熱cvd,一根熱絲放在被鍍物件附近進(jìn)行沉積。
金屬有機(jī)化合物cvd(mocvd),是在一種有機(jī)金屬化合物氣氛(這種氣氛在室溫時(shí)是穩(wěn)定的,但在高溫下分解)中進(jìn)行沉積。
物-相沉積技術(shù)基本原理可分三個(gè)工藝步驟:
(1)鍍料的氣化:即使鍍料蒸發(fā),異華或被濺射,也就是通過鍍料的氣化源。
(2)鍍料原子、分子或離子的遷移:由氣化源供出原子、分子或離子經(jīng)過碰撞后,產(chǎn)生多種反應(yīng)。
(3)鍍料原子、分子或離子在基體上沉積。
認(rèn)識(shí)pvd物-相沉積技術(shù)
物-相沉積技術(shù)工藝過程簡(jiǎn)單,對(duì)環(huán)境-,無污染,耗材少,成膜均勻致密,與基體的結(jié)合力強(qiáng)。該技術(shù)廣泛應(yīng)用于航空航天、電子、光學(xué)、機(jī)械、建筑、輕工、冶金、材料等領(lǐng)域,可制備具有耐磨、耐腐飾、裝飾、導(dǎo)電、絕緣、光導(dǎo)、壓電、磁性、潤(rùn)滑、超導(dǎo)等特性的膜層。
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