濟(jì)南新力特試驗(yàn)設(shè)備有限公司提供nanonex高分辨率光刻/對(duì)準(zhǔn)器。納米壓印nanonex高分辨率光刻/對(duì)準(zhǔn)器 lumina系列為電子,光電,mems和許多其他應(yīng)用中的高分辨率,對(duì)準(zhǔn),接觸和接近光刻提供了高,-且經(jīng)濟(jì)-的解決方案。 它具有易于使用的界面,-的載物臺(tái),-的光學(xué)元件和較小的占地面積。
nanonex lumina-200納米壓印主要特點(diǎn)
高分辨率光刻
-對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)
-的對(duì)準(zhǔn)光學(xué)
間隙控制
用戶友好的pc控制
占地面積小
具有成本效益的設(shè)計(jì)
背面對(duì)齊可選
應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體器件 *微機(jī)電系統(tǒng) *光電子學(xué) -*包裝 *電力設(shè)備
納米壓印nanonex高分辨率光刻/對(duì)準(zhǔn)器技術(shù)參數(shù)
手冊(cè)x-y-?
帶稱重傳感器的電動(dòng)z
移動(dòng)范圍: x和y:1英寸
?:10度
z:0.25英寸
掩膜加載能力
5”口罩標(biāo)準(zhǔn)
其他尺寸可選
基板裝載能力
4”標(biāo)準(zhǔn)
其他尺寸可選
對(duì)準(zhǔn) 模式:接近、柔和、硬
對(duì)準(zhǔn)光學(xué)
分割欄 5倍物鏡,1到7倍變焦
2個(gè)獨(dú)立的手動(dòng)x,y,z顯微鏡移動(dòng) 精細(xì)粗調(diào)
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