鐘罩式晶體生長爐

成都極托儀器設備有限公司提供鐘罩式晶體生長爐。本設備采用分體模塊化設計，采用鐘罩升降結(jié)構(gòu)，爐蓋爐體可單獨升降打開，爐體，真空系統(tǒng)，電控系統(tǒng)分別模塊化式設計，現(xiàn)場三大模塊按照平面布置圖拼接組合起來，不用每樣都分別拆分組裝，安裝方便快捷，布局整潔大方。
·主要技術(shù)參數(shù)
1.-高加熱溫度： 2000℃
2.功率： 60kw±10%單相整流
2.冷態(tài)-真空度： ≤5×10e-3pa
3.壓升率： ≤2pa/h
4.爐體尺寸： ф750×1000mm（直徑×高）
5.測溫系統(tǒng)： 熱電偶
6.控溫精度： ±0.1℃，采用歐陸溫控儀表
7.加熱區(qū)： 一區(qū)
8.坩堝升降參數(shù)： 位移行程 200mm
慢速升降0.1-10mm/h（伺服控制）精度±0.01mm
快速升降50-200mm/min（伺服控制）

9·爐內(nèi)充氣壓力： ≤0.05mpa
10·充放氣系統(tǒng)： 兩路（一路采用電磁閥充放氣，一路預留充放氣接口）
結(jié)構(gòu)組成
1、爐蓋 2、爐體
3、鐘罩升降裝置 4、-體和隔熱屏
5、真空系統(tǒng) 6、溫控系統(tǒng)
7、整流變壓器及聯(lián)接電纜 8、冷卻水分配系統(tǒng)
9、坩堝升降系統(tǒng) 10、爐蓋升降裝置構(gòu)

成套供應范圍
1. 殼體（爐蓋、爐體和爐底） 1套
2. 鐘罩升降系統(tǒng) 1套
3. 整流變壓器 1臺
4. 熱電偶（鎢錸熱偶） 2支
5. 控制系統(tǒng) 1套
6. 匯流水管 1套
7. 安全裝置 1套
8、爐蓋升降裝置 1套
9、坩堝升降系統(tǒng) 1套
10、真空系統(tǒng) 1套
11·-體及隔熱屏 1套
12、說明書及技術(shù)資料 1份
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