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分子泵的清洗：

一般來(lái)講，如果說前級(jí)泵沒有問題，而真空在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)沒有達(dá)到規(guī)定的真空值或者有漏氣（排除其它的漏氣）、或著解吸附作用降低，說明真空泵有點(diǎn)臟了，需要進(jìn)行清洗，這時(shí)不用進(jìn)行拆卸就可以直接進(jìn)行清洗，如果太臟的話，就必須進(jìn)行拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 1．關(guān)掉分子泵，進(jìn)行排氣。

2．從機(jī)器上拆下分子泵全新渦輪分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分。 3．拆掉冷卻器、加熱器（如果有的話）等 4．拆掉潤(rùn)滑的油包

5．將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個(gè)適合的容器中。

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故障：分子渦輪泵出現(xiàn)異響儀器自動(dòng)停機(jī)，經(jīng)檢測(cè)是分子渦輪泵壞了（如果分子泵出現(xiàn)異響-不要再開機(jī)，以免加重對(duì)泵的損傷）�？赡茉蚴牵褐挥幸粋€(gè)液氮罐供應(yīng)氮?dú)?渦輪分子泵，學(xué)生換氣時(shí)經(jīng)常要開、關(guān)機(jī)，頻繁開關(guān)機(jī)對(duì)分子渦輪泵損傷較大。也可能運(yùn)氣不好，泵的不太好，但據(jù)-所說正常泵的壽命也就3-5年，一般用個(gè)5年也-了。我們實(shí)際也用了差不多5年了。

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