株洲市渦輪分子泵,渦輪分子泵維修,帕納光電

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-等待質(zhì)譜腔內(nèi)氣壓恢復(fù)至常壓后拆下真空系統(tǒng)與質(zhì)譜腔體之間的連接管路。注意：如果質(zhì)譜剛關(guān)機(jī)內(nèi)部有負(fù)壓，一定要先從機(jī)械泵與質(zhì)譜聯(lián)接的波紋管拆開，將氣壓恢復(fù)至常壓后才能拆下連接部件，否則有可能將連接部件的o型圈吸入質(zhì)譜腔體或分子泵，我們?cè)诓鹦稌r(shí)出現(xiàn)過這個(gè)問題。

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