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分子泵的清洗:
一般來(lái)講,如果說(shuō)前級(jí)泵沒(méi)有問(wèn)題,而真空在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)沒(méi)有達(dá)到規(guī)定的真空值或者有漏氣(排除其它的漏氣)、或著解吸附作用降低,說(shuō)明真空泵有點(diǎn)臟了,需要進(jìn)行清洗,這時(shí)不用進(jìn)行拆卸就可以直接進(jìn)行清洗,如果太臟的話,就必須進(jìn)行拆卸清理了。直接清洗的方法如下: 1.關(guān)掉分子泵,進(jìn)行排氣。
2.從機(jī)器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的邊緣部分。 3.拆掉冷卻器、加熱器(如果有的話)等 4.拆掉潤(rùn)滑的油包
5.將分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一個(gè)適合的容器中。
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