揭陽渦輪分子泵、磁懸浮渦輪分子泵維修、帕納光電

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泵污染  4.3.2.1泵污染的標志是即使漏氣和脫附氣率沒有長時間變化，甚至長時間烘烤也不能恢復(fù)其真空性能，這時應(yīng)對泵進行清洗，清洗需由-人員處理，嚴禁不經(jīng)培訓而私自拆泵。 

沖擊防護：分子泵是高旋轉(zhuǎn)機械，動靜片間間隙很小，不能抗過大的沖擊。

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-等待質(zhì)譜腔內(nèi)氣壓恢復(fù)至常壓后拆下真空系統(tǒng)與質(zhì)譜腔體之間的連接管路。注意：如果質(zhì)譜剛關(guān)機內(nèi)部有負壓，一定要先從機械泵與質(zhì)譜聯(lián)接的波紋管拆開，將氣壓恢復(fù)至常壓后才能拆下連接部件，否則有可能將連接部件的o型圈吸入質(zhì)譜腔體或分子泵，我們在拆卸時出現(xiàn)過這個問題。

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