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這是-科大自主研制的離子束超精密拋光機(jī)床,它正在加工生產(chǎn)-集成電路用的深紫外光刻機(jī)鏡頭 激光加工,這個鏡頭的加工精度要求控制在5個納米以內(nèi)。
適合于-計(jì)算教學(xué)和科研方面的應(yīng)用以及-型人才培養(yǎng) 激光加工,可直接推廣應(yīng)用在數(shù)學(xué)、物理、化學(xué)、地學(xué)和空間科學(xué)、生命科學(xué)、材料科學(xué)、力學(xué)、火災(zāi)科學(xué)、-和信息科學(xué)、-科學(xué)等領(lǐng)域,以及-建設(shè)的諸多方面,將為我國與日俱增的大型、密集、-計(jì)算需求提供優(yōu)良的服務(wù)。
超精密加工技術(shù)將推動完全自主-的計(jì)算機(jī)芯片的開發(fā)、激光聚變新能源應(yīng)用、提高民用光學(xué)儀器的生產(chǎn)水平。
為整體提升國內(nèi)半導(dǎo)體-裝備技術(shù)能級,形成光刻機(jī)系列產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化能力基礎(chǔ) 激光加工,2009年 激光加工,光刻機(jī)的持續(xù)發(fā)展被-“科技重大專項(xiàng)”內(nèi)容,上海微電子裝備有限公司承擔(dān)了其中難度-的90納米光刻機(jī)研制項(xiàng)目。按照合同任務(wù)書計(jì)劃要求,目前已完成項(xiàng)目的初步設(shè)計(jì)、詳細(xì)設(shè)計(jì)、零部件加工制造和部分關(guān)鍵分系統(tǒng)的驗(yàn)收,即將進(jìn)入整機(jī)裝配集成階段。
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