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多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、-）的能力很強。因而它非常適于真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，-質(zhì)譜檢漏儀等場合均可得到應(yīng)用。有專門設(shè)計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵 leyss渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕，離子束加工，低壓化學(xué)氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內(nèi)積存。因而它適于氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。

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有些用戶由于害怕轉(zhuǎn)子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運轉(zhuǎn)時，葉輪突然遭到吸入異物或軸承磨損而出現(xiàn)破碎的。通常要有保護措施，如在入口處加過濾網(wǎng)，破碎通常是可以避免的。

任何高真空泵在運轉(zhuǎn)期間都會碰到這種事故。如規(guī)管破裂，入口處管道、閥門、密封出現(xiàn)問題，都可能突然使真空泵入-露在-壓之下。不同型號的渦輪分子泵，耐-壓沖擊的能力是不同的。有些泵會因葉片共振彎曲相碰而損壞 leyss渦輪分子泵廠家，但也有些泵受-沖擊而不損壞。-的辦法是廠家通過試驗得出結(jié)果。擴散泵和低溫泵在工作中遇到這種突然事故也比較麻煩，比渦輪分子泵的抵抗能力差，如擴散泵油被氧化會迅速污染真空室，低溫泵要求再生等。

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