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萬級無塵室靜電庫侖力
在靜電庫侖力的作用下，吸附的粉塵、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受損，成品率和-性-下降。如粉塵粒徑>;100μm，鋁線寬度約100μm，氧化膜厚度在50μm時(shí)，易使產(chǎn)品報(bào)廢。現(xiàn)在線徑更細(xì)，氧化膜很薄，粒徑很小的塵粒子就會損害元器件，這種情形多發(fā)生在腐蝕清洗、光刻、點(diǎn)焊和封裝等工藝過程中。
靜電放電
萬級無塵室esd引起emi其電磁波的前后峰較尖，信號強(qiáng)，相當(dāng)于電路中幾伏的能量，頻率跨越幾mh2甚幾百mh2的-噪聲，可能引起元器件損壞，設(shè)備和傳感器不正常工作，甚至引起設(shè)備死機(jī)。
引起的emi還會引發(fā)錯(cuò)誤信號的輸入，或發(fā)生鎖存現(xiàn)象。如無塵車間中，將晶圓片的emif箱放在鋼的手推車上 廣州無菌潔凈室裝修，晶圓片的esd會通過電感傳給手推車，車輪是絕緣的，則emi的擴(kuò)散會引起晶圓片處理機(jī)死機(jī)。
-人體
萬級無塵室元器件的絕緣氧化膜被擊穿，引線被燒斷或線間熔斷。若人體帶上10kv（100pf）的靜電荷 深圳無菌潔凈室裝修，觸摸器件腳時(shí)發(fā)生esd，其向大地瞬間形成脈沖放電電流峰值可達(dá)20a（10~100s），不要說高密度，細(xì)線徑，薄sio2膜的lsi、vlsi，就是一般ic、mos都會遭受損壞。
造成噪聲、發(fā)射電磁波干擾
人體的esd或?qū)θ梭w的esd當(dāng)超-體--電流5ma以上時(shí)，人都會有各種傷害感覺，造成工作人員的情緒不安，操作錯(cuò)誤。
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電子工廠面圖為了減少廠區(qū)內(nèi)部的污染 無菌潔凈室裝修，潔凈廠房周圍的道路面層，應(yīng)選用整體性好、發(fā)塵量少的材料進(jìn)行鋪砌，道路面層宜采用改性瀝青路面。廠區(qū)綠化具有-的吸塵、阻塵和降低-中-的作用，設(shè)有凈化工程的工廠內(nèi)應(yīng)努力減少甚罕不得有裸土地面，廠ix所有“裸士”地應(yīng)9種植草坪、蓋上卵石等措施。據(jù)報(bào)導(dǎo)，綠化帶|×：域的塵埃降低率為22.5%左右，草坪可吸收-量約1.5 g/m2.h，種植的植物分泌的殺菌率可達(dá)50%�？梢妼Si×和工廠周圍進(jìn)行綠化帶來的不僅是-環(huán)境，還是降塵殺菌的-措施。潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化，可鋪植草坪，不應(yīng)種植對潔凈生產(chǎn)有害的植物，如觀賞花卉及高大喬木，并不得妨礙消防作業(yè)。這是因?yàn)橛^賞花卉多為季節(jié)性一年生植物，需經(jīng)常翻土、播種、移植，從而破壞植被，并使塵土飛揚(yáng)：高大喬木樹冠復(fù)蓋面積大 惠州無菌潔凈室裝修，其f部難以植被，容易產(chǎn)生揚(yáng)塵。潔凈j‘房周圍綠化樹種應(yīng)選用不產(chǎn)生花絮、絨毛、粉塵等對-有-影響的樹種。對生)“：-的潔凈廠房刷圍不得種植有花粉的樹木、花草，以防花粉污染和招惹昆蟲。
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