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在渦輪分子泵與前級泵之間裝上一個真空閥,可以防止反向充氣,當(dāng)停電時-關(guān)上此閥。理想的情況是,它即能對前級泵入口充氣又不致于使泵油返流浸入安全閥。另外 分子泵維修,只有當(dāng)它的壓力基本均衡時才能打開安全閥,否則就有可能出現(xiàn)壓力沖擊前級管道的問題,例如,在斷電瞬間前級泵壓力將為-壓力,然而前級管道仍可能處于真空狀態(tài)下。若閥門的兩側(cè)壓力差很大,一旦通電閥門會-打開,含污染油的-壓下的氣體將由前級泵沖向前級管道,從而會污染系統(tǒng)。所以安全閥需要一定的-開啟的時間,以便讓前級泵將閥門后的管道內(nèi)-真空,閥前后的壓差均衡時才可打開安全閥,總之采取辦法來控制閥門的兩側(cè)的壓力差,不使氣流返沖。
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